箱式收放板全自動連線(側進)

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配置選項 進板方式 基板尺寸(mm) 制程工藝
A(單粘塵機) 側進 650x650 放板→粘塵→移栽→A面曝光→翻面→移栽→B面曝光→收板
直進 730x730
B(單粘塵機+暫存機) 側進 650x650 放板→粘塵→移栽→A面曝光→翻面→移栽→B面曝光→暫存→收板
直進 730x730
B(雙粘塵機+暫存機) 側進 650x650 放板→粘塵→移栽→A面曝光→翻面→粘塵→移栽→B面曝光→暫存→收板
直進 730x730